中科潞安紫外光电科技公司：专业“她”力量 柔肩挑重担

记“全国三八红旗集体”中科潞安紫外光电科技公司

在充满希望的三月里，中科潞安紫外光电科技公司被全国妇联授予“全国三八红旗集体”荣誉称号。该公司有女员工81名，占员工总数61%，平均年龄30岁，她们潜心致力于半导体紫外LED产品的研发与生产，从事紫外LED相关核心装备、外延、芯片等主要业务，以柔肩担重任，获得了这项“国字号”荣誉。

芯片制造是整个半导体行业的核心和基础。芯片制作有50多道工序，通过清洗、光刻、蒸镀、磨抛、划裂以及点分6个工段制成。其中，光刻工艺是半导体制造中最重要的环节之一。而完成这道工艺的就是该公司光刻间和点分间的9名女员工。

记者走进芯片部生产车间的光刻间时，看到操作员商丽起正在对来料进行目检。商丽起告诉记者：“在清洗站接到这些晶片后，要先在显微镜下抽检是否合格，然后把通过检查的晶片进行烘烤，这一步可以使光刻胶的粘性更强，最终保障电极图转移成型后的完整度。接下来通过匀胶、曝光、显影几道工序，一个完整的电极图就在晶片上显现出来了。”

“光刻这道工艺决定了芯片尺寸大小，最终制作完成一个芯片需要经过6-7道光刻。光刻的成本约占整个半导体制造工艺的1/3，耗费时间约占整个工艺的51～58%。可以说，光刻工艺是整个芯片制造过程中的灵魂。”该公司工程师张晓娜告诉记者。

张晓娜是负责光刻车间的研发工程师，也是首批来到中科潞安的女员工。2018年公司成立时，张晓娜和4名女员工初进光刻间，这里还是一片漆黑。光刻是一个特殊的工段，LED白光灯会对光刻胶产生影响，因为紫外光谱与可见光谱在400nm-450nm会重合，光刻胶遇紫外光会发生光敏反应，所以光刻车间急需换上含有极少紫外光的黄光照明。为了不影响进度，她们不仅要自己调研滤光纸，而且还要自己动手操作。那段时间，她们搬起梯子、将所有白光灯管变为黄光灯，光刻车间便被打造成理想的黄光车间，为芯片的制造创造了适宜的照明环境。在二次配期间，她们每日带着安全帽到工地，规划每台机器的水、电、气、压缩空气、冷却循环水等，钻进高架板下面，检查每根管路的水电气是否安装妥当，直到厂务二次配验收结束，光刻间试车运行圆满成功。这些只是光刻车间女工所解决的一部分问题，在调试阶段匀胶机出现问题以及试生产阶段遇到瓶颈时，她们都用一次次用行动印证了女性群体在遇到困难时不畏艰难、勇敢向前的巾帼精神。

从芯片部出来，记者跟随工作人员来到二楼的质控部和封装部。质控部质量工程师沈日晓告诉记者：“这是质控部的实验室，主要对生产的芯片和灯珠进行可靠性测试。质控部有10名员工，其中7名是女性，她们有做体系维护的，有做来料及过程、入库、出货检验的。由于我们这个部门的工作比较繁琐，而实验室的工序大多是手动的，所以需要细心度和耐心度高的女性来完成。为保证数据反馈的及时性和准确性，给产品研发和提升提供有效的数据支撑，实验室的工作人员经常需要加班加点赶进度。”

2019年公司开始试生产运营后，质控部全员仅用时3个月，就完成了质量手册和25类程序文件的编制，审核完善了100余份作业指导书，推动公司顺利通过国家质量体系认证，并组织全员参加质量培训，为研发转量产工艺导入的有序进行提供了“质”的保障。

从质控部实验室出来，就是封装部的生产车间，记者看到这里有3名女员工在埋头忙着各自的工作。“我们部有8名操作员，其中有4名女性，3名上白班，1名上夜班。部门主要以公司自产的深紫外芯片为原材料进行各种深紫外光源产品的生产，产品类型完全可以满足市场需求。”封装部生产主管李云霞告诉记者。

此外，在中科潞安的综合、采购、销售、人事、保洁等部门，还有一批女员工默默奉献着自己的力量。保洁部的16名女工，每天都需要穿戴好洁净服，“全副武装”在高度密闭的生产车间进行空气和物表净化作业，严格按照每立方米空气中直径≥0.5um的灰尘粒数量不超过100个的标准进行清洁，为研发、生产团队规避环境问题的影响作出了应有贡献。

中科潞安成立的近5年时间里，以张晓娜、王雪等为代表的女性研发团队先后发明申报了19项知识产权和核心专利技术，创新芯片技术，优化芯片制程工艺，让深紫外LED技术日趋成熟，并参与自主研发紫外专用高温MOVCD设备48片机，为产业创新发展提供了核心技术保障。其中，以郭亚楠博士为首的女性核心技术骨干，牵头编制了5项长治地方标准，顺利通过行业标准评审，填补了国内深紫外标准空白，为国内深紫外技术提供了“质”的标准。

中科潞安的女性工程师更是秉持着“基础研究是科技创新的源头、是所有技术问题的‘总机关’的信念”，坚持创新思想、创新方法、创新制度，将深紫外技术研究应用方向与国家和人民需求紧密结合，不断延伸深紫外技术的应用领域，研制出民用级、工程级等系列紫外消杀应用产品，守护人民的身体健康。她们始终坚持研发更多具有自主知识产权的芯片工艺技术，集中力量攻克深紫外技术推广应用的重大关键技术问题，力争在高质量发展中开辟新领域新赛道，做人无我有的开创者、人有我优的领跑者。

（文/图 张京）

责任编辑：郝佳丽